8486 30 10 — Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 11 (В) к данной группе; части и принадлежности: машины и аппаратура для производства плоских дисплейных панелей: установки для химического осаждения из паровой фазы на подложки жидкокристаллических устройств

8486 Машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей; машины и аппаратура, поименованные в примечании 9 (В) к данной группе; части и принадлежности: 8486 10 – машины и аппаратура для производства булей или пластин 8486 20 – машины и аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем 8486 30 – машины и аппаратура для производства плоских дисплейных панелей 8486 40 – машины и аппаратура, поименованные в примечании 9 (В) к данной группе 8486 90 – части и принадлежности

В данную товарную позицию включаются машины и аппаратура, используемые исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей. Однако в данную товарную позицию не включаются машины и аппараты для измерения, контроля, проверки, химического анализа и т.д. (группа 90). (A) МАШИНЫ И АППАРАТУРА ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ БУЛЕЙ ИЛИ ПЛАСТИН К данной категории относятся машины и аппаратура для производства булей или пластин, такие как:

(1) Плавильные печи для зонной плавки и очистки кремневых стержней, печи для оксидирования поверхности пластин и диффузионные печи для легирования пластин специальными примесями. (2) Установки для выращивания кристаллов и экстракторы для производства монокристаллических полупроводниковых булей сверхвысокой чистоты, которые могут быть разрезаны на пластины. (3) Кристаллические дифракционные решетки, которые делят кристаллические були точно по диаметру, необходимому для пластин, и которые делят поверхность булей для индикации вида электропроводности и удельного сопротивления кристалла. (4) Пильные станки для нарезания пластин, которые нарезают пластины из булей из монокристаллического полупроводникового материала. (5) Станки для шлифования, притирки и полирования пластин, которые подготавливают полупроводниковые пластины к процессу производства, что включает придание пластинам допустимых размеров. Особенно важна толщина поверхности. (6) Химические механические полировальные машины (CMP), которые выравнивают и полируют пластины сочетанием химического удаления и механической подшлифовки. (Б) МАШИНЫ И АППАРАТУРА ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ ИЛИ ЭЛЕКТРОННЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ К данной категории относится аппаратура для производства полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем, такая как: (1) Оборудование для формирования пленки, которое применяется для производства различных пленок на поверхности пластин во время процесса обработки. Эта пленка служит проводником, изолятором и полупроводником в готовом устройстве. Она может содержать сульфиды и нитриды с поверхности подложки, металлы и эпитаксиальные слои. Процессы и оборудование, перечисленные ниже, не обязательно ограничиваются созданием какого-то определенного типа пленки: (a) печи для оксидирования, которые образуют "пленку" оксида на пластине. Оксид образуется в результате химической реакции верхних молекулярных слоев пластины с техническим кислородом или паром при высокой температуре; (б) оборудование для химического осаждения, которое наносит пленки различных типов, полученные посредством комбинации соответствующих газов в реакционной камере при высоких температурах. Это составляет термохимическую реакцию с фазой выпаривания. Операции выполняются при атмосферном или низком давлении (LPCVD) и могут содержать плазменную обработку (PECVD); (в) аппаратура для физического осаждения из паровой фазы, которая производит различные виды пленки, полученные посредством выпаривания твердого вещества. Например: (1) оборудование для напыления, в котором пленка изготавливается посредством нагревания исходного материала; (2) оборудование для распыления, в котором пленка изготавливается посредством бомбардировки исходного материала (цели) ионами; (г) оборудование для молекулярно-пучковой эпитаксии (MBE), которое предназначено для выращивания эпитаксиальных слоев на нагретой монокристаллической подложке в

сверхвысоком вакууме при использовании молекулярных лучей. Процесс, аналогичный PVD. (2) Оборудование для легирования, которое предназначено для нанесения легирующей примеси на поверхность пластины в целях изменения проводимости или других характеристик полупроводникового слоя, такое как: (a) оборудование для термического рассеивания, предназначенное для нанесения легирующих примесей на поверхность пластины посредством применения газов при высоких температурах; (б) установки ионной имплантации, в которых легирующие примеси "забиваются" в кристаллическую решетку поверхности пластины в виде луча ускоренных ионов; (в) печи отжига, которые восстанавливают структуру кристаллической решетки пластины, поврежденную при ионной имплантации. (3) Травильное и зачистное оборудование для травления или очистки поверхности пластин, такое как: (a) оборудование для жидкостного травления, в котором применяются материалы для химического травления, применяемые посредством распыления или погружения. Распылители для травления обеспечивают более единообразный результат, чем емкости для травления, поскольку они выполняют операцию только с одной пластиной за раз; (б) оборудование для сухого плазменного травления, в котором травильные материалы представлены в виде газов в поле плазменной энергии, о бразующей профиль анизотропного травления. Машины сухого травления используют несколько различных методов создания газообразную плазму, которая удаляет материал тонкой пленки с полупроводниковых пластин; (в) ионно-лучевое фрезерное оборудование, в котором ионизированные атомы газа направляются на поверхность пластины. Результат воздействия состоит в том, что верхний слой физически убирается с поверхности; (г) стрипперы, или обдирочные машины, используя технологию, аналогичную травлению, данные аппараты удаляют с поверхности пластины использованный фоторезист после того, как он выполнил свою функцию в качестве "шаблона". Данное оборудование также может удалять нитриды, оксиды и полисиликон с помощью изотропного профиля травления. (4) Литографическое оборудование, которое передает рисунок схемы на поверхность полупроводниковой пластины с фоторезистным покрытием, такое как: (a) оборудование для покрытия пластин фоторезистом. К данному оборудованию относятся центрифуги фоторезиста, которые равномерно распределяют жидкий фоторезист по поверхности пластины; (б) оборудование для нанесения рисунка схемы на пластину с фоторезистным покрытием (или их части): (i) использующее маску или шаблон и экспонирующее фоторезист светом (как правило, ультрафиолетовым) или, в некоторых случаях, рентгеновскими лучами: (a) устройства контактной печати, в которых маска или шаблон в процессе экспонирования находятся в непосредственном контакте с пластиной;

(б) устройства с близко расположенной маской, которые сходны с устройствами контактной печати, за исключением того, что нет непосредственного контакта маски или шаблона с пластиной; (в) сканирующие устройства, использующие проекционные технологии для экспонирования постоянно передвигающейся щели по маске и пластине; (г) устройства пошагового и повторного совмещения, использующие проекционную технологию для того, чтобы экспонировать пластину по одной секции за один раз. Экспонирование с маски на пластину может быть выполнено или с уменьшением, или 1:1. Обработка включает использование эксимерного лазера; (ii) оборудование для непосредственного нанесения рисунка на пластину. Эти устройства работают без маски или шаблона. В них используются вычислительные машины, управляющие "пишущим лучом" (таким как электронные луч (E -луч, ионный луч или лазерный луч), для того, чтобы нарисовать рисунок схемы непосредственно на пластину с фоторезистным покрытием. (5) Оборудование для обработки экспонированных пластин. Данное оборудование включает химические ванны, аналогичные используемым в фотолабораториях. Данная товарная позиция также включает: (i) центрифуги для покрытия изолированной подложки или пластины фоторезистным материалом; (ii) установки трафаретной печати для печати на изолирующей подложке типографской краской, стойкой к травлению; (iii) машины лазерной резки для деления пластин на кристаллы; (iv) пилы для нарезания пластин.

(В) МАШИНЫ И АППАРАТУРА ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПЛОСКИХ ДИСПЛЕЙНЫХ ПАНЕЛЕЙ Данная категория охватывает изготовление плоской панели из подложек. Однако она не охватывает производство стекла или на монтаж печатных плат или других электронных компонентов на плоских панелях. К данной категории относятся машины и аппаратура для производства плоских дисплейных панелей: (1) Аппаратура для гравировки, проявки, резки или очистки. (2) Аппаратура для проецирования, рисования или гальваностегии рисунка маски. (3) Шпиндельные центробежные сушильные машины и другие сушильные устройства. (4) Машины (прядильные станки), предназначенные для покрытия фотографических эмульсий. (5) Установки ионной имплантации для легирования материалов. (6) Печи, камеры и другое оборудование для рассеивания, оксидации, отжига или быстрого подогрева. (7) Аппаратура для химического и физического осаждения из паровой фазы.

(8) Машины для измельчения и полирования. (9) Машины для распиловки, разметки или рифления. (Г) МАШИНЫ И АППАРАТУРА, ПОИМЕНОВАННЫЕ В ПРИМЕЧАНИИ 9 (В) К ДАННОЙ ГРУППЕ К данной категории относятся машины и аппаратура, используемые исключительно или главным образом для: (1) производства или восстановления масок и шаблонов (например, приспособления (фотовыводное устройство) для фотографического производства фотомасок и машин ионного травления для восстановления масок и шаблонов); (2) сборки полупроводниковых приборов или электронных интегральных панелей, например: (a) лазерные гравировальные станки для гравировки на пластмассовом корпусе готовых монолитных интегральных схем или дискретных полупроводниковых компонентов; (б) оборудование для герметизации, такое как прессы, для изготовления пластмассовых корпусов посредством опрессовки кристаллов пластмассой; (в) установки для микросварки проволочных выводов для сварки золотых электронных проводов с контактными областями монолитной интегральной схемы посредством ультразвуковой или электронно-компрессионной сварки; (г) формирование столбиковых выводов – процесс формирования соединителей на целой пластине перед разделением пластины на кристаллы; (3) поднятия, манипулирования, погрузки или разгрузки булей, пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей (например, автоматизированные погрузочно-разгрузочные машины для транспортировки, погрузки/разгрузки и хранения полупроводниковых пластин, кассет и коробок для пластин и других материалов для полупроводниковых приборов). (Д) ЧАСТИ И ПРИНАДЛЕЖНОСТИ При условии соблюдения общих положений, относящихся к классификации частей (см. общие положения к разделу XVI), в данную товарную позицию включаются части и принадлежности машин и аппаратуры данной товарной позиции. Части и принадлежности данной товарной позиции, так им образом, включают, inter alia, приспособления для крепления инструментов или деталей и другие особые приспособления, которые используются исключительно или главным образом с аппаратами данной товарной позиции.

Примечания:

1. В данную группу не включаются:

(а) жернова, точильные камни или другие изделия группы 68;

(б) оборудование или устройства (например, насосы) из керамических материалов и керамические части машин или устройств из любого материала (группа 69);

(в) лабораторная стеклянная посуда (товарная позиция 7017); оборудование, устройства или другие изделия для технических целей или их части из стекла (товарная позиция 7019 или 7020);

(г) изделия, включаемые в товарную позицию 7321 или 7322, или аналогичные изделия из других недрагоценных металлов (группы 74 – 76 или 78 – 81);

(д) пылесосы товарной позиции 8508;

(е) электромеханические бытовые машины товарной позиции 8509; цифровые камеры товарной позиции 8525;

(ж) радиаторы для изделий раздела XVII; или

(з) щетки ручные механические для уборки полов, без двигателя (товарная позиция 9603).

2. При условии соблюдения положений примечания 3 к разделу XVI и примечания 11 к данной группе машина или устройство, которое отвечает описанию в одной или более товарных позициях 8401 – 8424 или товарной позиции 8486 и в то же самое время описанию в одной или более товарных позициях 8425 – 8480, включается в соответствующую товарную позицию первого упомянутого ряда товарных позиций или в товарную позицию 8486 в зависимости от конкретного случая, а не второго упомянутого ряда.

(А) Однако в товарную позицию 8419 не включаются:

(i) оборудование для проращивания семян, инкубаторы или брудеры (товарная позиция 8436);

(ii) машины для увлажнения зерна (товарная позиция 8437);

(iii) диффузионные аппараты для извлечения сахаросодержащего сока (товарная позиция 8438);

(iv) оборудование для термообработки текстильной пряжи, текстильных материалов или готовых текстильных изделий (товарная позиция 8451); или

(v) оборудование, агрегаты или лабораторное оборудование для механической обработки, при которой изменение температуры, даже если оно необходимо, является вспомогательным процессом.

(Б) В товарную позицию 8422 не включаются:

(i) швейные машины для зашивания мешков или аналогичной тары (товарная позиция 8452); или

(ii) конторское оборудование товарной позиции 8472.

(В) В товарную позицию 8424 не включаются:

(i) краскоструйные печатные машины (товарная позиция 8443); или

(ii) водоструйные резательные машины (товарная позиция 8456).

3. Станок для обработки любого материала, который отвечает описанию товарной позиции 8456 и одновременно описанию товарной позиции 8457 – 8461, 8464 или 8465, включается в товарную позицию 8456.

4. В товарную позицию 8457 включаются только металлообрабатывающие станки, иные, чем токарные (включая станки токарные многоцелевые), которые могут выполнять различные типы операций обработки путем или:

(а) автоматической замены инструмента из инструментального магазина или подобного устройства в соответствии с программой обработки (обрабатывающие центры);

(б) автоматического применения одновременно или последовательно различных обрабатывающих головок, работающих при неподвижной заготовке (станки агрегатные однопозиционные); или

(в) автоматического перемещения заготовки к различным обрабатывающим головкам (станки агрегатные многопозиционные).

5. В товарной позиции 8462 термин «линия продольной резки» для плоских изделий означает технологическую линию, состоящую из разматывателя, правильного устройства, устройства продольной резки и наматывателя. Термин «линия поперечной резки» для плоских изделий означает технологическую линию, состоящую из разматывателя, правильного устройства и отрезного устройства.

6. (A) В товарной позиции 8471 термин «вычислительные машины» означает машины, способные:

(i) хранить программу или программы обработки и по меньшей мере информацию, необходимую в данный момент для выполнения программы;

(ii) являться свободно перепрограммируемыми в соответствии с требованиями пользователя;

(iii) выполнять арифметические вычисления, определяемые пользователем; и

(iv) выполнять без вмешательства человека программу обработки, требующую от вычислительной машины изменения действий путем принятия логических решений в процессе обработки.

(Б) Вычислительные машины могут быть выполнены в виде систем, состоящих из различного числа отдельных блоков.

(В) При условии соблюдения положений примечаний (Г) и (Д), изложенных ниже, блок должен рассматриваться как часть вычислительной системы, если он удовлетворяет всем следующим условиям:

(i) исключительно или главным образом используется в вычислительной системе;

(ii) обладает возможностью подключения к центральному блоку обработки данных или непосредственно, или через один или несколько других блоков; и

(iii) способен принимать или представлять информацию в такой форме (коды или сигналы), которая может быть использована системой.

Отдельно представленные блоки вычислительной машины включаются в товарную позицию 8471.

Однако клавиатура, X–Y-координатные устройства ввода и блоки хранения данных на дисках, которые удовлетворяют условиям, изложенным выше в примечаниях (В) (ii) и (В) (iii), во всех случаях должны рассматриваться как блоки товарной позиции 8471.

(Г) В товарную позицию 8471 не включаются следующие устройства, представленные отдельно, даже если они соответствуют всем условиям примечания 6 (В), изложенным выше:

(i) принтеры, копировальные аппараты, факсимильные аппараты, объединенные или нет;

(ii) аппаратура для приема или передачи голоса, изображений или других данных, включая аппаратуру для обеспечения коммуникаций в сети проводной или беспроводной связи (например, в локальной или глобальной сети);

(iii) громкоговорители и микрофоны;

(iv) телевизионные камеры, цифровые камеры и записывающие видеокамеры;

(v) мониторы и проекторы, не совмещенные с телевизионной приемной аппаратурой.

(Д) Машины, содержащие в своем составе или работающие совместно с вычислительной машиной и выполняющие специфические функции, отличные от обработки информации, включаются в товарные позиции в соответствии с их специфическими функциями или при невозможности этого – в остаточные товарные позиции.

7. В товарную позицию 8482, inter alia, включаются полированные стальные шарики, максимальный и минимальный диаметр которых не отличается от номинального диаметра более чем на 1 % или более чем на 0,05 мм, в зависимости от того, что является меньшим. Другие стальные шарики включаются в товарную позицию 7326.

8. Машина, которая используется более чем для одной цели, при классификации должна рассматриваться так, как если бы ее основное назначение являлось единственным.

При условии соблюдения положений примечания 2 к данной группе и примечания 3 к разделу XVI машина, основное назначение которой не описано ни в одной товарной позиции, или машина, в которой ни одно из ее назначений не является основным, классифицируется в товарной позиции 8479, если в контексте не оговорено иное. В товарную позицию 8479 включают также машины для изготовления веревок или тросов (например, машины для свивания) из металлической проволоки, текстильной пряжи или из других материалов или из комбинации таких материалов.

9. В товарной позиции 8470 термин «карманные» применяется лишь к устройствам, размеры которых не превышают 170 х 100 х 45 мм.

10. В товарной позиции 8485 термин «аддитивное производство» (также упоминаемое как 3D печать) означает формирование физических объектов на основе цифровой модели путем последовательного добавления и наслоения, уплотнения и отверждения материала (например, металла, пластмасс или керамики).

При условии соблюдения положений примечания 1 к разделу XVI и примечания 1 к группе 84, станки, отвечающие описанию в товарной позиции 8485, классифицируются в этой товарной позиции и никакой другой товарной позиции Номенклатуры.

11. (A) Примечания 12 (а) и 12 (б) к группе 85 также применимы к терминам «полупроводниковые приборы» и «электронные интегральные схемы», соответственно, как используемым в данном примечании и в товарной позиции 8486. Однако в данном примечании и в товарной позиции 8486 термин «полупроводниковые приборы» также распространяется на фоточувствительные полупроводниковые приборы и светодиоды (LED).

(Б) В данном примечании и в товарной позиции 8486 термин «производство плоских дисплейных панелей» распространяется на изготовление плоской панели из подложек. Он не распространяется на производство стекла или на монтаж печатных плат или других электронных компонентов на плоских панелях. Термин «плоская дисплейная панель» не распространяется на технологию электронно-лучевых трубок.

(В) В товарную позицию 8486 также включаются машины и аппаратура, исключительно или в основном используемые для:

(i) производства или устранения дефектов в масках и шаблонах;

(ii) сборки полупроводниковых приборов или электронных интегральных схем;

(iii) поднятия, манипулирования, загрузки или выгрузки булей, пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем и плоских дисплейных панелей.

(Г) При условии соблюдения положений примечания 1 к разделу XVI и примечания 1 к группе 84 машины и аппаратура, отвечающие описанию в товарной позиции 8486, включаются в данную товарную позицию и ни в какую другую товарную позицию Номенклатуры.

Примечания к субпозициям:

1. В субпозиции 8465 20 термин «обрабатывающие центры» применяется только к станкам для обработки дерева, пробки, кости, твердой резины, твердой пластмассы или аналогичных твердых материалов, которые способны выполнять различные типы операций обработки путем автоматической замены инструмента из инструментального магазина или аналогичного устройства в соответствии с программой обработки.

2. В субпозиции 8471 49 термин «системы» означает вычислительные машины, чьи блоки удовлетворяют требованиям, изложенным в примечании 6 (В) к группе 84, и которые включают в себя, по меньшей мере, центральный блок обработки данных, один блок ввода (например, клавиатура или сканер) и один блок вывода (например, дисплей или принтер).

3. В субпозиции 8481 20 выражение «клапаны для маслогидравлических или пневматических трансмиссий» означает клапаны, которые непосредственно применяются при переносе «энергии текучей среды» в гидравлической или пневматической системе, где источником энергии является текучая среда (жидкость или газ) под давлением. Эти клапаны могут быть любого типа (например, редукционные, обратные). Субпозиция 8481 20 имеет первостепенное значение в товарной позиции 8481.

4. В субпозицию 8482 40 включаются только подшипники с цилиндрическими роликами, диаметр которых не превышает 5 мм, а их длина составляет, по меньшей мере, три диаметра. Концы роликов могут быть скруглены.

Дополнительные примечания:

1. В субпозициях 8407 10 и 8409 10 термин «авиационные двигатели» должен применяться только к двигателям, предназначенным для сборки с воздушным или несущим винтом.

2. В подсубпозицию 8471 70 300 0 также включаются устройства считывания компакт-дисков, являющиеся запоминающими устройствами вычислительных машин, которые предназначены для считывания сигналов с CD-ROM, аудиокомпакт-дисков и фотокомпакт-дисков и снабжены разъемом для наушников, регулятором громкости или кнопкой пуск/стоп.

Дополнительные примечания Евразийского экономического союза:

1. В подсубпозиции 8482 10 900 1 термин «брутто-масса» означает общую массу товара со всеми видами упаковочных материалов и тары, обеспечивающих его сохранность в процессе хранения и транспортировки. В общую массу товара не включается масса упаковочных материалов или тары, со всей очевидностью пригодных для повторного использования.

2. В подсубпозиции 8415 81 001 0 термин «специальные производственные помещения» означает помещения, в которых поддержание точных значений температуры и влажности обусловлено эксплуатационными требованиями установленного в нем оборудования, такого как станки, вычислительные машины, коммутационное оборудование, оборудование для проведения хирургических операций и т.п., или выполняемыми им операциями.

3. В подсубпозициях 8427 20 190 1, 8427 90 000 1 и 8436 80 100 1 дата изготовления определяется на основании технической документации изготовителя техники (технический паспорт, инструкция по эксплуатации) и таблички изготовителя, которая закрепляется на заметном, легкодоступном месте техники и не подлежит замене в процессе эксплуатации. Если в технической документации изготовителя и табличке изготовителя содержится противоречивая информация о дате изготовления либо отсутствует информация изготовителя техники о дате изготовления, то считать эту технику техникой, с момента выпуска которой прошло более 3 лет.

Если в информации изготовителя указан только год изготовления, то датой изготовления техники считать 1 июля года изготовления; если указан месяц и год изготовления, датой изготовления считать 15 число месяца, указанного в информации изготовителя.

4. В целях классификации товаров в подсубпозиции 8482 10 900 1 в государствах, территории которых составляют таможенную территорию Евразийского экономического союза, при применении термина «франко-граница страны ввоза» под страной ввоза понимается таможенная территория Евразийского экономического союза.

5. В подсубпозиции 8407 10 000 3 термин «взлетная мощность» («take-off power») означает максимальную мощность, развиваемую авиационным поршневым двигателем.

«Взлетная мощность» («take-off power») указывается в технической документации и (или) сопроводительных документах, измеряется в киловаттах или лошадиных силах (1 кВт соответствует 1,35962 л.с.).

6. В подсубпозиции 8421 99 000 5 термин «элементы мембранные рулонного типа для фильтрования или очистки жидкостей» означает устройства цилиндрической формы, состоящие из:

– внутренней пластмассовой перфорированной трубки, на которую спирально навиты мембранные пакеты;

– дренажного материала, расположенного между мембранными пакетами и приклеенного к ним по трем сторонам.

Мембранный пакет состоит из сложенной вдвое полосы мембраны, содержащей внутри экструдированную сетку.

На торцах элемента мембранного рулонного типа могут быть установлены фиксирующие диски и уплотнительные манжеты.

7. В подсубпозиции 8415 20 000 2 термин «в едином корпусе» относится к установкам для кондиционирования воздуха (кондиционерам), у которых все элементы объединены в одном корпусе, на одной раме или на одной платформе.

Термин «в едином корпусе» также распространяется на установки для кондиционирования воздуха (кондиционеры), в которых холодильный компрессор, входящий в состав данной установки для кондиционирования воздуха (кондиционера), расположен отдельно, то есть не объединен с остальными элементами в одном корпусе, на одной раме или на одной платформе.