8486 30 — 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释11（B）规定的机器及装置；零件及附件：制造平板显示器用的机器及装置

8486 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、电子集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释9（C）规定的机器及装置；零件及附件：8486 10 －制造单晶柱或晶圆用的机器及装置 8486 20 －制造半导体器件或电子集成电路用的机器及装置 8486 30 －制造平板显示器用的机器及装置 8486 40 －本章注释9（C）规定的机器及装置 8486 90 －零件及附件

本品目涵盖专用于或主要用于制造半导体布或板、半导体装置、电子集成电路或平面显示板的机器和装置。 然而，本品目不包括测量、控制、检查、化学分析等机制(第90章)。 (A) 生产半车辆子弹或车牌的机械和装置 这一类包括生产宝刀或板块的机械和装置，例如：

（1）用于区熔及提纯硅棒的熔炼炉、晶圆表面氧化炉以及用特殊杂质对晶圆进行掺杂的扩散炉。（2）用于生产可切割成晶圆的超高纯度单晶半导体晶锭的晶体生长设备及拉晶机。（3）晶体衍射光栅，可将晶锭精确地分割至晶圆所需的直径，并对晶锭表面进行分割，以标示晶体的导电类型及电阻率。（4）晶圆切割机，从单晶半导体材料的晶锭上切割晶圆。（5）晶圆研磨机、研光机及抛光机，为生产过程准备半导体晶圆，包括使晶圆达到允许的尺寸。表面厚度尤为重要。（6）化学机械抛光机（CMP），通过化学去除与机械研磨相结合的方式使晶圆平坦化并抛光。（B）制造半导体器件或电子集成电路的机器及装置 本类包括制造半导体器件或电子集成电路的装置，例如：（1）成膜设备，用于在加工过程中在晶圆表面生成各种薄膜。这种薄膜在成品器件中起导体、绝缘体及半导体的作用。薄膜可含有来自衬底表面的硫化物及氮化物、金属及外延层。下列工艺及设备不一定限于生成某一特定类型的薄膜：（a）氧化炉，在晶圆上形成氧化物「薄膜」。氧化物是晶圆上层分子层与工业用氧或水蒸气在高温下发生化学反应的结果；（b）化学沉积设备，通过在高温下使反应室中的相应气体结合而沉积各种类型的薄膜。这构成带有蒸发相的热化学反应。操作在常压或低压（LPCVD）下进行，并可包括等离子体处理（PECVD）；（c）物理气相沉积装置，通过蒸发固体物质生成各种薄膜。例如：（1）蒸镀设备，通过加热源材料制成薄膜；（2）溅射设备，通过用离子轰击源材料（靶材）制成薄膜；（d）分子束外延（MBE）设备，用于在加热的单晶衬底上生长外延层，其过程在

使用分子射线的超高真空。类似PVD(2)的兴奋剂设备，其设计将合金杂质应用到板块表面，以改变半导体层的导电性或其他特征，例如：(a)热散设备，通过在高温下施放气体将合金杂质应用到板块表面；(b)离子植入装置，其中合金杂质以加速离子束的形式"堵塞"到板块表面的晶体层；(c)恢复被棱柱植入破坏的板块晶体层结构的反光炉. (3) 用于蚀刻或清洗板面的草药和剥离设备，例如：(a) 液蚀设备，使用喷洒或浸浸所用的化学蚀刻材料。 蚀刻喷雾器提供比蚀刻罐更统一的结果，因为它们一次只用一个板块进行操作；(b)干燥的等离子体蚀刻设备，其中蚀刻材料在等离子体能量场中作为气体呈现，关于异异性蚀刻的火焰特征。干蚀刻机采用几种不同方法生成气体等离子体，将薄膜材料从半导体板上去除；(c)离子束碾磨设备，其中离子化气体原子被引导到板的表面。其效果是，顶层从表面物理上被移除；(d)脱衣舞女，或脱衣舞女，使用类似于蚀刻的技术，这些装置在"顶层"发挥功能后，将用过的光阻器从板面上移除。这种设备还可以使用异色蚀刻剖面来去除硝化物，氧化物和聚硅酮. (4)将电路图案传送到带有光阻涂层的半导体板表面的立体设备，如：(a)用光阻涂层板的设备。该设备包括将液态光阻器均匀分布在板面上的光阻离心机；(b)用光阻涂层(或部分)绘制板面电路图案的设备：(i)使用遮罩或图案，暴露光阻灯(通常是紫外线)，或在某些情况下暴露X射线：(a)接触印刷装置，在接触时，遮罩或图案直接与板面接触；

（b）接近式曝光装置，与接触式曝光装置类似，只是掩模或中间掩模版与晶圆没有直接接触；（c）扫描式装置，采用投影技术使连续移动的狭缝在掩模和晶圆上曝光；（d）分步重复对准装置，采用投影技术对晶圆每次一个区段进行曝光。由掩模到晶圆的曝光可以缩小进行，也可以按1:1进行。加工包括使用准分子激光器；（ii）直接在晶圆上绘制图形的设备。这类设备不用掩模或中间掩模版。它们使用计算机控制「写入束」（例如电子束（E束）、离子束或激光束），直接在涂有光刻胶的晶圆上绘制电路图形。（5）处理已曝光晶圆的设备。这类设备包括类似于照相洗印室所用的化学槽。本品目还包括：（i）用于在绝缘衬底或晶圆上涂覆光刻胶材料的离心涂胶机；（ii）在绝缘衬底上用耐腐蚀油墨进行印刷的丝网印刷机；（iii）将晶圆分割成芯片的激光切割机；（iv）晶圆切割锯。

(C) 生产平面显示板的机器和装置 这一类包括用底板制造平板。 但是，它不包括玻璃生产或平板上安装印刷电路板或其他电子部件。 这一类别包括生产平面显示板的机器和设备：(1) 雕刻、开发、切割或清洗设备。 (2) 用于投影、绘图或遮盖图案的装置。 (3)Spindle离心干燥机和其他干燥装置. (4) 用于覆盖摄影乳胶的机器(螺旋机)。 (5) 安装用于兴奋剂的离子植入。 (6)用于散热，氧化，反射或快速加热的炉灶，室室和其他设备. (7) 化学和物理蒸汽沉降装置。

（8）研磨及抛光机器。（9）锯切、划线或刻槽机器。（D）本章注释9（C）规定的机器及装置 本类包括专用于或主要用于下列用途的机器及装置：（1）制造或修复掩模及光罩（例如，照相制造光掩模用的装置（光绘机）以及修复掩模及光罩用的离子铣削机）；（2）组装半导体器件或电子集成电路，例如：（a）在成品单片集成电路或分立半导体元件的塑料壳体上进行雕刻的激光雕刻机；（b）封装设备，例如以塑料模压包封芯片制造塑料外壳的压机；（c）以超声波焊接或电子压缩焊接方式将金质电子导线焊接到单片集成电路接触区的引线键合机；（d）凸点制作——在晶圆切分为芯片之前在整片晶圆上形成连接件的工艺；（3）升降、搬运、装载或卸载单晶柱、晶圆、半导体器件、电子集成电路或平板显示器（例如，用于运输、装卸及储存半导体晶圆、晶圆盒及晶圆箱以及半导体器件用其他材料的自动化搬运机器）。（E）零件及附件 在不违反零件归类总规定（参见第十六类总注释）的情况下，本品目包括本品目所列机器及装置的零件及附件。因此，本品目的零件及附件主要包括工具夹具或工件夹具以及专用于或主要用于本品目所列装置的其他特殊附件。

注释

机器翻译。原文为欧亚经济联盟税则的俄文本，海关依据的正是该文本；本译文仅供理解参考，不具法律效力。

1. 这一组不包括：

(a) 第68章的磨石、磨石或其他物品；

(b) 陶瓷材料的设备或装置(如泵)和机器的陶瓷部件或任何材料的装置(第69章);

(c) 实验室玻璃器皿(品目7017)；技术用设备、装置或其他物品或玻璃部件(7019或品目7020);

(d) 品目7321或7322的条款或其他贱金属的类似条款(第74至76章或第78至81章);

(e) 品目8508的吸尘器；

(f) 品目8509；品目8525;

(g) 第十七节物品的散热器；或

(h) 用于地板清洁的手动机械刷，没有发动机(品目9603)。

2. Subject to the provisions of Note 3 to Section XVI and Note 11 to this Chapter, a machine or device which meets the description in one or more of headings 8401 to 8424 or heading 8486 and at the same time the description in one or more headings 8425 to 8480 is included in the relevant heading of the first series of headings or in heading 8486 as the case may be, and not in the second series.

(A) 然而，品目8419不包括：

(一) 种子发芽设备、孵化器或胸针(品目8436);

(二) 湿粮机械(品目8437);

(三) 提取糖汁的传播装置(品目8438);

(四) 纺织纱、纺织材料或纺织成品的热处理设备(品目8451)；或

机械设备、组件或实验室设备，即使有必要，温度变化也是一个辅助过程。

(B) 品目8422不包括：

缝纫袋或类似容器的缝纫机(品目8452)；或

(二)品目8472的办公设备。

(C) 品目8424不包括：

(一) 喷漆印刷机(品目8443)；或

(二)喷水切割机(机头8456).

3. 处理符合品目8456说明和同时处理第8457至8461号、第8464号或品目8465说明的任何材料的机器归入品目8456。

4. 品目8457只涵盖除铁丝网(包括多用途铁丝网)以外的金属加工机，这些铁丝网可通过下列方式进行不同类型的机械操作：

(a) 根据处理程序自动更换工具库或类似设备；

(b) 在固定工作台(组装单位机)上运行的不同处理头的自动应用；或

(c) 工件自动移动到各种处理头(多位置机)。

5. 为品目8462的目的，平面产品的“纵向切割线”一词是指由风机、正确装置、纵向切割装置和风机组成的工艺线。 平面产品的“交叉线”是指由不通风装置、正确装置和切割装置组成的工艺线。

6. (A) 就品目8471而言，“计算机”一词是指能够：

(一) 存储处理程序或程序以及至少目前执行程序所需的信息；

(二) 根据用户要求可自由重新编程；

(三) 进行用户定义的算术计算；

(四)在没有人类干预的情况下，执行一个处理程序，要求计算机在处理过程中通过作出逻辑决定来修改其动作。

(B)计算机可以由不同数量的单个块组成的系统形式制造。

(C) 在不违反下文注(D)和(E)规定的情况下，如果某一区块满足下列所有条件，则应将其作为计算系统的一部分：

(一) 专门或主要用于计算系统；

(二) 能够直接或通过一个或多个其他单位与中央处理单位连接；和

(三) 能够以系统可能使用的形式(代码或信号)接收或提供信息。

单独列报的计算机单元归入品目8471。

然而，符合上文注(B)(二)和(B)(三)规定条件的键盘、X-Y坐标输入装置和磁盘存储单元，在任何情况下都应视为品目8471的块。

(D)品目8471不包含以下设备，单独列报，即使它们符合上文注6(C)的所有条件：

(一) 打印机、复印机、传真机，合并与否；

(二) 接收或传输语音、图像或其他数据的设备，包括通过有线或无线通信网络(例如，在局域网或广域网)提供通信的设备；

(三) 扬声器和麦克风；

(四) 电视摄像机、数码摄像机和录像摄像机；

(五)不与电视接收设备相结合的显示器和投影仪。

(E) 装有计算机或与计算机一起工作并履行信息处理以外的特定功能的机器按其特定功能分类，如无法分类，则按剩余品目分类。

7. 头部8482特别覆盖抛光钢球，其最大和最小直径与额定直径不差1%以上或0.05毫米以上，以较小者为准。 其他钢球则在品目7326中分类。

8. 用于一种以上目的的机器应归类为其主要目的是唯一目的。

在不违反本章说明2和第十六节说明3的规定的情况下，除非上下文另有规定，其主要用途未在任何品目中说明的机器或无任何主要功能的机器均归入品目8479。 品目8479还包括用金属丝，纺织纱或其他材料或这类材料的组合制造绳索或绳索(如织布机)的机械。

9. 就品目8470而言，“手提”一词仅适用于不超过170x100x45毫米的装置。

10. 为品目8485的目的，添加剂制造(又称3D印刷)一词是指通过连续添加和分层，封存和校正一种材料(如金属，塑料或陶瓷)，形成基于数字模型的物理物体。

在不违反第十六节说明1和第84章说明1的规定的情况下，品目8485所述的机器归入该品目，没有归入其他品目。

11. (A) 第85章注12(a)和注12(b)也分别适用于本说明和品目8486中使用的“半导体装置”和“电子集成电路”。 然而，在本注和品目8486中，"半导体装置"一词也适用于光敏半导体装置和LED.

(B) 在本说明和品目8486中，“飞机显示面板生产”一词包括制造一个平面底板。 它不包括玻璃生产或平板上安装印刷电路板或其他电子部件。 "平面显示面板"一词不适用于阴极射线管技术。

(C) 品目8486还包括专门或主要用于下列目的的机械和装置：

(一) 制作或消除口罩和图案的缺陷；

半导体装置或电子集成电路组件；

(三) 抬起、操纵、装载或卸下布、板、半导体装置、电子集成电路和平面显示板。

(D) 在不违反第十六节说明1和第84章说明1的规定的情况下，符合品目8486所述说明的机器归入本品目，而不归入Nomenclature的其他品目。

子目注释

机器翻译。原文为欧亚经济联盟税则的俄文本，海关依据的正是该文本；本译文仅供理解参考，不具法律效力。

1. 为8465 20子目的目的，“机械中心”一词仅适用于工作木、软木、骨、硬橡胶、硬塑料或类似硬材料的机床，这些机床可以按照机械程序，通过自动改变杂志或类似的机器进行不同类型的机械操作。

2. 为了第8471-49子目的目的，“系统”一词是指其单位符合第84章注6(C)规定条件的自动数据处理机，至少包括一个中央处理装置、一个输入装置(例如键盘或扫描仪)和一个输出装置(例如视觉显示装置或打印机)。

3. For the purposes of subheading 8481 20, the expression ‘valves for oleohydraulic or pneumatic transmissions’ means valves which are used specifically in the transmission of ‘fluid power’ in a hydraulic or pneumatic system, where the energy source is supplied in the form of pressurized fluids (liquid or gas). These valves may be of any type (for example, pressure-reducing type, check type). Subheading 8481 20 takes precedence over all other subheadings of heading 8481.

4. 子目8482 40只适用于具有统一直径不超过5毫米且长度至少是直径三倍的圆柱滚筒的轴承。 卷者端可能圆。

补充注释

机器翻译。原文为欧亚经济联盟税则的俄文本，海关依据的正是该文本；本译文仅供理解参考，不具法律效力。

1. 为8407 10和8409 10子目的目的，“航空发动机”一词应仅适用于拟与空气或转子组装的发动机。

2. В подсубпозицию 8471 70 300 0 также включаются устройства считывания компакт-дисков, являющиеся запоминающими устройствами вычислительных машин, которые предназначены для считывания сигналов с CD-ROM, аудиокомпакт-дисков и фотокомпакт-дисков и снабжены разъемом для наушников, регулятором громкости или кнопкой пуск/стоп.

欧亚经济联盟补充注释

机器翻译。原文为欧亚经济联盟税则的俄文本，海关依据的正是该文本；本译文仅供理解参考，不具法律效力。

1. 为子目8482 10 900 1的目的，“总质量”一词是指装有各种包装材料和容器，确保其在储存和运输期间的安全的货物总质量。货物总重量不包括明显适合再利用的包装材料或容器的质量。

2. 为8415 81 001 0子目的目的，“特殊生产设施”一词是指由于安装在其中的设备，如机器、计算机、交换设备、外科设备等的操作需要，或由于在其中进行的操作而使温度和湿度精确值得以维持的房舍。

3个子目8427 20 190 1 8427 90 000 1和8436 80 100 1，应根据制造商的技术文件(技术护照，和制造商的车牌，它将被固定在明显的、机械易于进入，在操作期间不得更换。如果制造商的技术文件和制造商的牌照载有关于制造日期的相互矛盾的信息，或者在制造日期没有关于设备制造商的信息，那么这种技术就被认为是一种技术，因为这种技术的释放已经超过3年。

如果制造商的信息仅表示制造年份，则该设备的制造日期视为制造年份的7月1日；如果指明制造月份和年份，则制造日期为制造商信息中规定的月份第15天。

4. 为了对8482 10 900 1号子目中构成欧亚经济联盟关税领土的各州的货物进行分类，在适用"进口国法国边界"时，进口国被理解为欧亚经济联盟的关税领土。

5. 为8407 10 000 3子目的目的，“起飞动力”一词是指由飞机活塞发动机开发的最大功率。

“起飞功率”在技术文件和(或)随附文件中有明确规定，以千瓦或马力(1千瓦对应1.35962赫普)计量。

6. В подсубпозиции 8421 99 000 5 термин «элементы мембранные рулонного типа для фильтрования или очистки жидкостей» означает устройства цилиндрической формы, состоящие из:

- 内部塑料穿孔管，其上螺旋伤口为膜袋；

- 位于膜袋之间的排水材料，并粘在三边。

薄膜包由两段折叠的薄膜带组成，内含挤压网格。

在膜卷式元素的末端，可以安装固定盘和密封袖。

7. 为8415 20 000 2子目的目的，“在单一的附文中”一词是指将所有要素合并为一个附文、框架或平台的空调单元(空调)。

"单机房"一词也适用于空调单元(空调机)，其中属于特定空调单元(空调机)一部分的制冷压缩机是单独设置的，即不与一机房，一机框或一机台的其他元件结合。